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臺(tái)式掃描電子顯微鏡ZME 20采用更加寬泛的加速電壓，1KV步進(jìn)，換樣時(shí)間僅需30秒，最大放大36萬倍，分辨率5nm@20kV。標(biāo)配減速模式，滿足弱導(dǎo)電樣品不噴金直接觀察、電子束敏感樣品無損觀察的要求。

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換樣時(shí)間僅需30s

超大樣品倉185*176*125（長*寬*高）mm

1-60Pa 低真空模式選配

10kV樣品臺(tái)高壓減速選配

增加樣品倉內(nèi)攝像頭，可實(shí)時(shí)觀察樣品倉內(nèi)情況

軟件升級自動(dòng)亮度對比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、大圖拼接等功能模塊

槍頭一直維持5*10^-5pa真空，大大提高鎢燈絲使用壽，同時(shí)可選配LaB6燈絲

五軸中心樣品臺(tái)選配

豐富的原位擴(kuò)展接口，可搭配拉伸臺(tái)、加熱臺(tái)、TEC冷臺(tái)、納米壓痕等原位產(chǎn)品

支持寄樣測試

臺(tái)式掃描電子顯微鏡ZEM 20廣泛運(yùn)用在電子半導(dǎo)體/工業(yè)檢測、功能無機(jī)材料/化工、科研教學(xué)/生命科學(xué)、新能源材料等行業(yè)。

臺(tái)式掃描電鏡應(yīng)用案例

臺(tái)式掃描電鏡客戶名單

臺(tái)式掃描電子顯微鏡臺(tái)式掃描電子顯微鏡技術(shù)參數(shù)

型號	ZEM 20臺(tái)式掃描電子顯微鏡
環(huán)境要求	AC 220V,50Hz，1kW,無需減震臺(tái)
加速電壓	3kV~18kV連續(xù)可調(diào),1kV步進(jìn)
電子槍	預(yù)對中鎢燈絲，一體式聚光鏡，無需手動(dòng)調(diào)節(jié)物鏡光闌，可選配LaB6燈絲
放大倍數(shù)	25~360000倍
探測器	四分割背散射電子探測器、二次電子探測器、集成式能譜儀(選配)
樣品臺(tái)行程	三軸:X:60mm，Y:60mm，T:±45° 五軸(選配):X:90mm,Y:50mm,2:25mm,R:360°,T:-10°-90°